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金融界 2024 年 9 月 17 日消息，天眼查知識產(chǎn)權(quán)信息顯示，青島天仁微納科技有限責(zé)任公司申請一項(xiàng)名為“一種高可控性納米壓印晶圓熱處理監(jiān)測方法“，公開號 CN202411135057.2，申請日期為 2024 年 8 月。
專利摘要顯示，本發(fā)明公開了一種高可控性納米壓印晶圓熱處理監(jiān)測方法，屬于熱處理監(jiān)測技術(shù)領(lǐng)域，包括以下步驟：S1、在模板的目標(biāo)圖形與納米壓印晶圓的熱處理過程中，采集晶圓的實(shí)時(shí)溫度；S2、生成晶圓的溫度碼；S3、確定熱處理過程是否存在加工異常。本發(fā)明為實(shí)時(shí)監(jiān)測的晶圓溫度構(gòu)建二維溫度向量和三維溫度向量，生成特定溫度碼，再結(jié)合整個時(shí)刻的溫度中位數(shù)，確定熱處理過程中是否存在溫度異常；本發(fā)明可以顯著提高納米壓印晶圓熱處理過程的可控性和穩(wěn)定性，提高了溫度檢測的靈敏度和準(zhǔn)確性，避免出現(xiàn)加工失誤。
熱處理展-工業(yè)爐展-2025第二十五屆廣州國際熱處理、工業(yè)爐展覽會-巨浪展覽—The 25th China(Guangzhou)Int''l Heat Treatment, Industrial Furnace Exhibition
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